TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀
產品詳細資料
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩定波長精度高。
儀器采用PCI接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數據采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。
TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀
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TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀
測量范圍 | 薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1-10 | 偏振器方位角范圍 | 0°-180°讀取分辨率為0.05° |
入射光波長 | 650nm（半導體激光器）/ 632.8nm（氦氖激光器）。 | 偏振器步進角 | 0.014°/步 |
入射角調節范圍 | 20°- 90°精度≤0.05° | 測量膜厚 | ±0.5nm |
光學中心高 | 80mm | 折射率重復性精度 | ±0.05 |
測量厚度zui小示值 | ≤1nm | 儀器測量精度 | ±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時） |
允許樣品尺寸 | φ10-φ140mm，厚度≤15mm | 外形尺寸 | 580×390×320（mm） |
度盤刻度 | 每格1度 | 主機重量 | 28kg |
TPY-2實驗主機、電控系統、PCI接口、二氧化硅膜樣片、配套軟件
TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀
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