純凈的SF6氣體一般是無毒的。SF6在生產過程中會有少量伴隨的生成物，其中S2F10是的劇毒氣體，但經過凈化處理可以將它除凈。純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會出現使人窒息的危險，設計戶內通風裝置時要考慮到這一情況。SF6氣體通過對流能與空氣混合，但速度很慢。氣體一旦混合后就形成SF6和空氣的混合氣體，不會再次分離。問題嚴重的是，電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強烈的腐蝕性和毒性。
1、SF4(四氟化硫)
常溫下SF4為無色的氣體，有類似SO2的刺鼻氣味，在空氣中能與水分生成煙霧，產生SOF2和HF。SF4氣體可用堿液或活性氧化鋁(Al2O3)吸收。SF4氣體對肺有侵害作用，影響呼吸系統，其毒性與光氣相當。
2、S2F2(氟化硫)
常溫下為無色氣體，有毒，有刺鼻氣味，遇水分能水解形成S，SO2和HF。S2F2對呼吸系統有類似光氣的破壞作用。
3、SF2(二氟化硫)
SF2的化學性能極不穩定，受熱后性能更加活潑，易水解成S，SO2和HF 。SF2氣體可用堿液或活性氧化鋁吸收。
4、SOF2(氟化亞硫酰)
SOF2為無色氣體，有臭雞蛋味，化學性能穩定。它與水分反應緩促，并能快速地為活性氧化鋁或活性炭吸附。SOF2為劇毒氣體．可造成嚴重的肺水腫，使動物窒息死亡。
5、SO2F2 (二氟化硫酰)
SO2F2為無色無臭氣體，化學性能極為穩定，加熱到150 °C時也不會與水和金屬反應。SO2F2不易被活性氧化鋁吸收。SO2F2是一種能導致痙攣的有毒氣體。它的危險性在于無刺鼻性嗅味且不會對服鼻粘膜造成刺激作用，故發現中毒后往往會迅速死亡。
6、SOF4(四氟亞硫酰)
SOF4為無色氣體，有刺鼻性氣味，能被堿液吸收，與水反應會生成SO2F2。SOF4是有害氣體，對肺部有侵害作用。
7、HF(氫氟酸)
HF是酸中腐蝕性的物質。對皮膚、粘膜有強烈刺激作用，并可引起肺水腫和肺炎等。
