納米位移平臺集成了一個高分辨率(12.5nm)非接觸式線性編碼器,它為閉環的伺服系統工作操作提供了精密反饋, 它的標準配置就可以提供納米精度的定位.
使用能夠了精密的滾珠導向系統確保了位移平臺高精度性能和嚴格的軌跡控制。
納米位移平臺也適合OEM使用,它具有較低拋面和較小尺寸,采用模塊化設計,用戶可堆疊使用創建多軸多部件系統。使用了非接觸式直接驅動技術,提供堅固,**,高速的定位,滿足高頻率大工作量的需要。納米定位平臺使用了*的無鐵直線電機直接確定技術,確保*優異的納米級定位性能。提供了高速度,高精度,高分辨率,高性能的表現。它與傳統的絲杠驅動或壓電驅動相比,具有更大的工作效率和吞吐量。
參數
行程(mm):25和50mm(單軸或雙軸)
驅動系統:無鐵芯直線電機或陶瓷伺服電機
*大加速度:由負載決定
*大速度:200mm/s (無負載時)
*大推力:24N
*大負載:2Kg
精度:+/-1um/25mm
TTL分辨率:1-100nm/脈沖
構造材料:鋁合金主體, 灰色氧化鍍膜
重復精度:5倍精度
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